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ShenZhen city JinLai Technology Co., Ltd.
深圳市金徕技术有限公司
产品分类

等离子去胶机

产品型号:JL-RR08

设备功能:对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗镀膜。


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商品描述

产品型号:JL-RR08

设备功能:对电路板、外延片、芯片、环氧基光刻胶去除适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体去胶、活化、刻蚀、清洗镀膜。




技术参数:


  

JL-RR8

等离子源系统

 

13.56MHz  射频

 

0~300W可调

真空系统

 

真空腔体

 

材质

 

腔体内部尺寸

Φ250 * Dept.260(直径*深mm)

腔体容积

12 L

处理最大尺寸

8英寸

真空泵

干泵

真空管路

不锈钢管、不锈钢波纹管

真空计

1×105~1×10-1Pa

质量流量计

±1% FS

气路控制

4路处理气体气路气体流量可调

极限真空

5Pa

流量范围

0-500SCCM(可调)

工艺气体

ArCF4、N₂O₂等等可选

控制系统

 

1、PLC 自动控制;

27寸触摸屏,图形用户界面;

3、配方程序为 0~99;

4、多级权限操作;

5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息;

6、存储工艺数据及错误信息;

7、报警信息提示及追溯

8、图形化界面检测处理参数;

9、自动手动操作可切换

10、维护提示紧急停止按钮;

11、门感应器和真空互锁;

12、机器运行信号指示;

13、机器运行结束提示;

外观参数

外形尺寸(MM)

750*450*500(宽高深)

   

55KG

设施配置

     

单相三线制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定。

压缩空气

     

提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单.

质保、售后服

务和技术支持

 

      

年免费的维保和备件免费更换

技术支持

接到设备故障通知1个小时内提供远程技术支持,对远程无法定位解决的问题,提供现场维修服务

      

设备正式试用前,提供完整、免费的技术培训


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