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ShenZhen city JinLai Technology Co., Ltd.
深圳市金徕技术有限公司
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等离子去胶机(灰化机)
    发布时间: 2021-04-26 14:44    

产品简介


等离子去胶机是深圳金徕针对小体积产品,小批量生产和实验室晶圆处理设计,适用于晶圆级和3D封装应用的理想设备。等离子应用包括预处理、灰化/光刻胶/聚合物剥离、有机污染去除等。


产品规格



型号

JL-RR05

JL-RR10

JL-RR15

高频输出功率

500W

500W

1000W

频率

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

检测功能

气压检测、 门检测

气压检测、 门检测

气压检测、 门检测

真空泵

干式真空泵

干式真空泵

干式真空泵

气体控制

高精度质量流量计(MFM)

高精度质量流量计(MFM)

高精度质量流量计(MFM)

质量流量计精度

+/-0.2% F.S

+/-0.2% F.S

+/-0.2% F.S

冷却方式

风冷

风冷

风冷

反应腔

石英 D160× 220 mm

石英 D240× 260 mm

石英 D240× 460 mm

反应气体

路系统(可选)

路系统(可选)

路系统(可选)

气体流量

0~300SCCM

0~300SCCM

0~500SCCM

外形尺寸

438× 520× 760mm

438× 520× 760mm

650× 650× 650mm

重量

 60kg

 60kg

 70kg

输入电源

单相 220V 50/60Hz  8A

单相 220V 50/60Hz  8A

单相 220V 50/60Hz  8A


应用范
 ✦ 去除光刻胶
 ✦ 晶圆打胶
 ✦ 湿法刻蚀前的晶圆清洁
 ✦ 去除 SU-8
 ✦ 清洁和表面活化
 ✦ 化学微量分析中的低温材料灰化
 ✦ 过滤器和滤膜的清洁

联系方式



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